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複合式分子泵的結構特點

更新时间:2019-11-08 00:55人气:8214

複合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯組合 ,集兩種泵的優點於一體。泵在很寬的壓力範圍內((10-6~1Pa)具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大進步了泵的出口壓力 。法國Alcatle公司生產的一種采用氣體靜壓軸承和動密封的複合分子泵,可以做到完全無油,且不用前級泵直接向大氣中排氣。  複合式分子泵的形式很多,按結構分,首要有兩種:一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯組合;另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯組合。渦輪級首要用來進步泵的抽速,一般采用有益於進步抽速的葉片外形,級數在l0級以內。牽引級首要用來增加泵的壓縮比,進步泵的出口壓力。  盤式牽引級是在平板圓盤平麵上按一定規律開出數條型線溝槽,然後將數塊圓盤串接起來構成,型線有阿基米德螺線、對數螺線 、圓弧線等 。抽氣時靠高速轉動的圓盤對氣體分子進行“拖動”,使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往複折回的定向活動,從而達到抽氣目的。  筒式牽引級是在圓筒形的轉子或定子的圓柱麵上開一定斷麵外形的溝槽 ,如矩形、圓弧形、三角形及其它外形的多頭螺旋槽 。由於簡式牽引泵型線溝槽開在轉子圓柱外表麵或泵體內表麵上,是以可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞,進步泵的抽氣效果。在設計製造中,可以通過改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角(螺旋升角)來達到較理想的抽氣效果。  在複合分子泵的設計中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關係。由於渦輪級有較大的抽氣麵積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣麵積較小 ,在兩種結構的聯接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的活動方式忽然改變,負氣體分子的活動在聯接處由有序變成無序 ,至使返流增加,抽氣能力下降。是以,在設計時應在渦輪級和牽引級轉換處加上過渡級結構,以進步泵的抽氣性能。  隨著複合分子泵的精益求精,其利用領域愈來愈廣,在某些抽氣係統上可以替換擴散泵,縮短了係統的抽氣時間,並可獲得無油汙染的清潔真空環境。

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